Abstract:
Las propiedades de sensado de las películas delgadas de oxido de estaño (SnO2) sin impurificar en una atmosfera de propano (C3H8) como función de la tempratura de depósito y del espesor de la película han sido estudiadas en el presente trabajo. Las películas delgadas de SnO2 con diferentes espesores fueron depositadas sobre vidro a diferentes temperaturas de substrato, la técnica de depósito fue la de rocío químico. Como solución de precursor se uso el cloruro de estaño SnCl4-5H2O a una concentración de 0.2 M, y como solvente se uso el alcohol etílico. Las propiedades de sensado de las películas delgadas de SnO2 fueron medidas a diferentes concentraciones de propano (0, 5, 50, 100, 200, 300, 400 y 500 ppm) y a diferentes temperaturas de operación, 22, 100, 200 y 300°c. El valor de sensitividad máxima fue del alrededor de 5.5, y fue obtenida en películas depositadas a una temperatura de depósito de 475°C y a un espesor de película de 50 nm. De acuerdo a los espectros de rayos X las películas mas delgadas y depositadas a bajas temperaturas de depósito muestran una pobre calidad cristalina, sin embargo estas películas presentan las más altas propiedades de sensado.
