Propiedades sensoras de películas delgadas de SnO2 en una atmósfera de propano

Abstract

Las propiedades de sensado de las películas delgadas de oxido de estaño (SnO2) sin impurificar en una atmosfera de propano (C3H8) como función de la tempratura de depósito y del espesor de la película han sido estudiadas en el presente trabajo. Las películas delgadas de SnO2 con diferentes espesores fueron depositadas sobre vidro a diferentes temperaturas de substrato, la técnica de depósito fue la de rocío químico. Como solución de precursor se uso el cloruro de estaño SnCl4-5H2O a una concentración de 0.2 M, y como solvente se uso el alcohol etílico. Las propiedades de sensado de las películas delgadas de SnO2 fueron medidas a diferentes concentraciones de propano (0, 5, 50, 100, 200, 300, 400 y 500 ppm) y a diferentes temperaturas de operación, 22, 100, 200 y 300°c. El valor de sensitividad máxima fue del alrededor de 5.5, y fue obtenida en películas depositadas a una temperatura de depósito de 475°C y a un espesor de película de 50 nm. De acuerdo a los espectros de rayos X las películas mas delgadas y depositadas a bajas temperaturas de depósito muestran una pobre calidad cristalina, sin embargo estas películas presentan las más altas propiedades de sensado.