Metalización por Sputtering usando un horno porta-sustrato ad-hoc

Raúl Toraya-Echeverria; Mariely Loeza-Poot; Ricardo Mis-Fernández; Eduardo Camacho-Espinosa; David Meneses-Rodríguez; Eduardo Flores Cuevas

doi:10.29057/icbi.v12iEspecial5.13699

Autores/as

Raúl Toraya-Echeverria Universidad Tecnológica Metropolitana https://orcid.org/0009-0002-9921-4625
Mariely Loeza-Poot Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del IPN-Unidad Mérida https://orcid.org/0000-0003-4706-7985
Ricardo Mis-Fernández Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del IPN-Unidad Mérida https://orcid.org/0000-0003-0045-307X
Eduardo Camacho-Espinosa Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del IPN-Unidad Mérida https://orcid.org/0000-0002-7583-1613
David Meneses-Rodríguez Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del IPN-Unidad Mérida https://orcid.org/0000-0003-3265-5792
Eduardo Flores Cuevas Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del IPN-Unidad Mérida https://orcid.org/0000-0003-4769-0873

DOI:

https://doi.org/10.29057/icbi.v12iEspecial5.13699

Palabras clave:

Ag, Forma octagonal, Celda solar, Contacto posterior, Calentamiento

Resumen

En este trabajo se presenta el diseño, fabricación, y puesta a punto de un horno porta-sustrato utilizado para depositar películas delgadas metálicas por la técnica de Sputtering. El sistema debe ser capaz de soportar condiciones de alto vacío y alta temperatura, así como adecuarse dentro de una cámara de vacío en forma cilíndrica, teniendo como principal reto la distribución de los componentes al tratarse de un sistema compacto y de bajo costo. El horno porta-sustrato fue diseñado de forma octagonal mediante software CAD, usando para su fabricación acero inoxidable, cerámica, grafito, lámparas de cuarzo, entre otros. Para la caracterización del horno, se realizaron curvas de calentamiento ajustando la potencia de las lámparas. Con el fin de evaluar la funcionalidad del sistema, se depositaron y caracterizaron películas delgadas de Ag en sustratos de vidrio; así mismo, se realizó la metalización con Ag de los contactos posteriores de una celda solar de película delgada basada en CdTe.

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