Microfosos MEMS
Resumen
Los microsfosos son MEMS ampliamente usados en microsensores de gases, debido a que les proporcionan aislamiento témico. Los microfososo será utilizados en un proceso posterior cuando se depositen un microcalefactor de polisilicio y una película delgada sensora de gas. Hoy en día, los sensores de gas tienen múltiples aplicaciones en procesos de manufactura y en la industroa, principalmente en la automotríz medicina/ biomédica, de productos de consumo, aeroespacial, química, pantallas opticas, fluídica, inalámbrica y comunicaciones ópticas. En este trabajo se desarrollaron tres microfosos MEMS de diferentes tamaños, fueron deseñados con el software L-Edit V16 de Tanner EDA y, fabricados por métodos de grabado húmedo. La fabricación de los MEMS consiste del depósito de películas delgadas y el grabado y modelado de estructuras de geometrías diversas. Para el grabado de sustrato de silicio, se depositaron y grabaron tres capas de SiO2/ Si3N4/ SiO2, las cuales se usaron como mascarillas. El modelo del microfoso se transfirió por la técnica de fotolitografía, las capas de SiO2, Si3N4 y el sustrato de Si fueron grabados con soluciones de HF, H3PO4 and KOH respectivamente. La razón de grabado del silicio fue de 7 mm/h. Las micrografías de los microfosos fueron tomadas con un microscopio de barrido electrónico (SEM).
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