Microfosos MEMS

Autores/as

  • José Luis González-Vidal UAEH

DOI:

https://doi.org/10.29057/icbi.v6i12.3432

Palabras clave:

Grabado, MEMS, microfosos

Resumen

Los microsfosos son MEMS ampliamente usados en microsensores de gases, debido a que les proporcionan aislamiento témico. Los microfososo será utilizados en un proceso posterior cuando se depositen un microcalefactor de polisilicio y una película delgada sensora de gas. Hoy en día, los sensores de gas tienen múltiples aplicaciones en procesos de manufactura y en la industroa, principalmente en la automotríz medicina/ biomédica, de productos de consumo, aeroespacial, química, pantallas opticas, fluídica, inalámbrica y comunicaciones ópticas. En este trabajo se desarrollaron tres microfosos MEMS de diferentes tamaños, fueron deseñados con el software L-Edit V16 de Tanner EDA y, fabricados por métodos de grabado húmedo. La fabricación de los MEMS consiste del depósito de películas delgadas y el grabado y modelado de estructuras de geometrías diversas. Para el grabado de sustrato de silicio, se depositaron y grabaron tres capas de SiO2/ Si3N4/ SiO2, las cuales se usaron como mascarillas. El modelo del microfoso se transfirió por la técnica de fotolitografía, las capas de SiO2, Si3N4 y el sustrato de Si fueron grabados con soluciones de HF, H3PO4 and KOH respectivamente. La razón de grabado del silicio fue de 7 mm/h. Las micrografías de los microfosos fueron tomadas con un microscopio de barrido electrónico (SEM).

Descargas

Los datos de descargas todavía no están disponibles.

Información de Publicación

Metric
Este artículo
Otros artículos
Revisores por pares 
2.4 promedio

Perfiles de revisores  N/D

Declaraciones del autor

Declaraciones del autor
Este artículo
Otros artículos
Disponibilidad de datos 
N/A
16%
Financiamiento externo 
No
32% con financiadores
Intereses conflictivos 
N/D
11%
Metric
Para esta revista
Otras revistas
Artículos aceptados 
86%
33%
Días hasta la publicación 
64
145

Indexado en

Editor y comité editorial
perfiles
Sociedad académica 
N/D

Citas

Beeby, S., Ensell, G., Kraft, M., & White, N. (2004). MEMS Mechanical Sensors. Norwood, MA: Artech House, www.artechhouse.com.

Bhansali, S., & Vadusev, A. (2012). MEMS for Biomedical Applications. Sawston, Reino Unido: Woodhead Publishing, UK,. www.elsevier.com/books/mems-for-biomedical-applications/bhansali/978-0-85709-129-1.

Deepak, B., & et al. (2016). Low Actuating Voltage Spring-Free RF MEMS SPDT Switch. Journal of Electrical and Computer Engineering, 2016, 1-7. doi:http://dx.doi.org/10.1155/2016/7984548.

Dhineshkaarthi.K, Preeth, S. L., & Kumar, R. (2017). MEMS Cantilever based identification of Carcinogenic MZN. 2017 International Conference on Electrical, Instrumentation and Communication Engineering (ICEICE2017) (págs. 1-4). Karur, India: IEEE. doi:10.1109/ICEICE.2017.8191863.

Gatzen, H. H., & Leuthold, V. S. (2015). Micro and Nano Fabrication, Tool and Processes. Springer. doi:DOI 10.1007/978-3-662-44395-8.

González-Vidal, J. L. (31 de Marzo de 2006). Aplicación de estructuras micro-electro-mecánicas (MEM's) con tecnología s, para sensores de parámetros físicos. doctoral thesis. Mexico City, Mexico, CINVESTAV-IPN, www.vlsilab.cinvestav.mx/files/Gonzalez-Vidal_PhD_marb.pdf.

González-Vidal, J. L., & et al. (2005). Gas Microsensing System with a FGMOS on a MEM Microstructure. Microthecnologies for the New Milenium. Sevilla, Espain.

González-Vidal, J. L., Reyes-Barranca, A., & Calleja-Arriaga, W. (2005). Technological processes for Micro-Heater and Micro-Hot-Plate in the implementation of a MEM gas sensor. 2nd International Conference on Electrical and Electronics Engineering (págs. 440-443). México: IEEE.

González-Vidal, J. L., Reyes-Barranca, M. A., & Vázquez-Acosta, E. N. (2018). Conditioning and Signal Amplification Stages for a Smart Gas Microsensor MEMS. Pistas educativas, 39(118), 621-336. http://www.itcelaya.edu.mx/ojs/index.php/pistas/article/view/1193.

Hongwei, Q. (2016). CMOS MEMS Fabrication Technologies and Devices Micromachines. Micromachines, 7(14), doi:10.3390/mi7010014.

Maluf, N., & Williams, K. (2004). An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering, Second Edition, (2nd ed.). Norwood, MA: Artech House Inc. http://www.artechhouse.com.

Pandya, H., Park, K., & Desai, J. P. (2015). Design and fabrication of a flexible MEMS-based electromechanical sensor array for breast cancer diagnosis. J Micromech Microeng, 25(7), 1-28. doi:DOI: 10.1088/0960-1317/25/7/075025.

Petersen, K. (Mayo de 1982). Silicon as a Mechanical Material. Proceedings of the IEEE, 70(5), 420 - 457. doi:10.1109/PROC.1982.12331.

Reyes-Barranca, M. A., & et al. (2009). Floating Gate Mosfet Circuit Design for a Monolithic MEMS Gas Sensor. SFORUM 2009 9TH MICROELECTRONICS. Natal, Brasil.

Reyes-Barranca, M. A., & et al. (2010). Using a Floating-Gate MOS Transistor as a Transduce in a MEMS Gas Sensing. Sensors, 10(11), 10413-10434. doi:10.3390/s101110413.

Senturia, S. D. (2001). Microsystem Desing. Kluvert Academic Publishers.

Sze, S. M., & Ng, K. (2007). Physics of Semiconductor Devices (3rd. ed.). John Wiley & Sons Ltd, New Jersey, USA.

Varadan, V. K., Vinoy, K., & Gopalakrishnan, S. (2006). Smart Material Systems and MEMS: Design and Development Methodologies, John Wiley & Sons Ltd, Chichester, England, Chichester, England, www.wiley.com.

Vázquez-Acosta, E. N., & et al. (2012). Simplified Adjusting and Simulation of a Pseudo Gaussian Function in Voltage Domain Generated with FGMOS Transistors on Circuit Simulation Software Exportable to a Multi Domain Platform. 9th International Conference on Electrical Engineering, Computing Science and Automatic Control (CCE 2012). Mexico City.

Vázquez-Acosta, E. N., & et al. (2012). Performance Evaluation of a Temperarure Control Stage Used on a Semiconductor Gas Sensor 3d Electrothermal Model Through Simulink. En S. C. Chakravarty, & S. C. Chakravarty (Ed.), Technology And Engineering Aplications Of Simulink (págs. 167-188). Rijeka, Croatia: Intech. www.intechopen.com/books/technology-and-engineering-applications-of-simulink/performance-evaluation-of-a-temperature-control-stage-used-on-a-semiconductor-gas-sensor-3d-elec.

Vázquez-Acosta, E. N, & et al. (2012). Release Optimization of Suspended Membranes in Mems. En Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures (págs. 183-204). Zagreb, Croacia: Intech.

Descargas

Publicado

2019-01-05

Cómo citar

González-Vidal, J. L. (2019). Microfosos MEMS. Pädi Boletín Científico De Ciencias Básicas E Ingenierías Del ICBI, 6(12), 91–94. https://doi.org/10.29057/icbi.v6i12.3432

Número

Sección

Artículos de investigación