Efecto de la temperatura de recocido en la morfología de estructuras hibridas de ZnO/silicio cristalino y poroso

Palabras clave: óxido de zinc, silicio poroso, sensor de gas

Resumen

En el presente trabajo fue depositado óxido de zinc (ZnO) sobre sustratos de silicio poroso (Si-P) a 400°C y 600°C usando la técnica de pulverización catódica. Los resultados de microscopia electrónica de barrido (SEM, por sus siglas en inglés) revelaron la formación del patrón de huecos interconectados del silicio poroso. El cambio en la morfología de ZnO sobre silicio poroso a diferentes temperaturas fue examinado con microscopia de fuerza atómica (AFM, por sus siglas en inglés). Los resultados AFM revelaron que el ZnO depositado a 400°C presenta menor rugosidad. El incremento de temperatura de depósito causó un incremento en la altura de los granos de ZnO. Los resultados podrían darnos la posibilidad de fabricar sustratos capaces de sensar gas mejorando la sensibilidad debido a los sustratos porosos y  la temperatura de depósito.

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Biografía del autor/a

Lizeth Martínez Ayala, Universidad Autónoma del Estado de Hidalgo

Escuela Superior Tepeji del Rio, Universidad Autónoma del Estado de Hidalgo, Ingeniería Industrial, Av. del maestro no. 41, col. Noxtongo 2da. Sección, Tepeji del Rio 42855, Hidalgo,  México.

Angélica Guadalupe Hernández Zanabria, Universidad Autónoma del Estado de Hidalgo

Escuela Superior Tepeji del Rio, Universidad Autónoma del Estado de Hidalgo, Ingeniería Industrial, Av. del maestro no. 41, col. Noxtongo 2da. Sección, Tepeji del Rio 42855, Hidalgo,  México.

Sion Federico Olive Méndez, Centro de Investigación en Materiales Avanzados

Centro de Investigación en Materiales Avanzados, Av. Miguel Cervantes 120, Complejo Industrial Chihuahua, 31136, Chihuahua, México.

Vivechana Agarwal, Centro de Investigación en Ingeniería y Ciencias Aplicadas

Centro de Investigación en Ingeniería y Ciencias Aplicadas, Universidad Autónoma del Estado de Morelos, Av. Universidad 1001, Col. Chamilpa, Cuernavaca, 62209, Morelos, México.

Citas

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Publicado
2020-01-05
Cómo citar
Martínez Ayala, L., Hernández Zanabria, A. G., Olive Méndez, S. F., Agarwal, V., & Campos-Alvarez, J. (2020). Efecto de la temperatura de recocido en la morfología de estructuras hibridas de ZnO/silicio cristalino y poroso. Pädi Boletín Científico De Ciencias Básicas E Ingenierías Del ICBI, 7(14), 74-77. https://doi.org/10.29057/icbi.v7i14.4481

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