Diseño y fabricación del equipo de rocío químico asistido por ultra sonicación

Venkata Krishna Karthik Tangirala; Ivan  Vargas; Angelica Guadalupe Hernández Zanabria; Lizeth Martínez-Ayala; Hector Daniel Molina Ruíz

doi:10.29057/estr.v6i12.4285

Autores/as

Venkata Krishna Karthik Tangirala Universidad Autónoma del Estado de Hidalgo https://orcid.org/0000-0002-6071-3892
Ivan Vargas Universidad Autónoma del Estado de Hidalgo
Angelica Guadalupe Hernández Zanabria Universidad Autónoma del Estado de Hidalgo
Lizeth Martínez-Ayala Universidad Autónoma del Estado de Hidalgo
Hector Daniel Molina Ruíz Universidad Autónoma del Estado de Hidalgo

DOI:

https://doi.org/10.29057/estr.v6i12.4285

Palabras clave:

rocío químico, ultra sonicación, peliculas delgadas

Resumen

En este trabajo se reporta el diseño, fabricación e instalación de un sistema de rocío químico asistido por ultrasonido (USP, por sus siglas en ingles). Al utilizar el sistema USP de fabricación tipo “casero” para depositar películas nanométricas, es posible controlar de manera precisa el espesor y la cristalinidad del material, esto se logra al variar el tiempo y la temperatura de depósito. Los valores mínimos de tiempo y temperatura de depósito que se pueden alcanzar con este equipo son 15 s y 250 ℃, respectivamente. Además, la frecuencia del nebulizador ultrasónico y la razón de flujo pueden ser controladas de acuerdo con el tipo de precursor que se utilice, esto con el objetivo de obtener películas delgadas de excelente calidad. Las características del sistema UPS instalado en este trabajo, permiten obtener películas de espesor homogéneo en el rango comprendido entre 50 y 500 nm. Las películas depositadas tienen un rango amplio de aplicaciones, tales como su uso en la fabricación de dispositivos fotoluminiscentes, tratamiento de aguas residuales y de detección de gases.

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